FAQ

부하에 효율적으로 전력을 공급하기 위해 임피던스 조정의 역할을 하는 장치입니다.
고주파 전원으로부터 저항 부하에 전력을 공급했을 경우, 전원의 내부 저항을 r로 하여 부하 저항 R로 한 경우, R을 0에서 서서히 늘려 가면, R=r일 때, 부하 저항에 최대 전력이 소비 됩니다.
이와 같이 최대가 되는 상태를 정합을 취한다고 합니다.

두 개의 가변 소자를 사용하여 위상과 임피던스를 조정하여 반사 전력을 최소화합니다. 이 상태가 일치가 취해진 상태가 됩니다.
자동 정합기의 경우 외부 핸디 컨트롤러에서 가변 소자를 움직여 반사파가 가장 적은 점을 찾아 조정합니다.

미리 RF-ON시의 가변 소자의 위치를 ??설정함으로써 플라즈마 점화까지의 불필요한 지연 시간을 해소하는 기능입니다.
또한 플라즈마 점화 포인트와 매칭 포지션이 다른 경우에도 유효한 기능입니다.

중첩(초조)이라는 원래의 의미는 겹치는 것입니다만, 고주파로 사용하는 경우, 메인이 되는 주파수에 다른 주파수(RF나 DC를)를 정합기의 내부에서 믹스 하는 것을 가리킵니다.
당사의 경우 고주파 노이즈가 다른 주파수의 소스로 돌리지 않도록 정합기에 RF 차단 필터를 내장 할 수 있습니다.

VPP(Voltage peak to peak)는 교류 전압의 최대 전압과 최소 전압의 차이를 가리킵니다.

VDC(Voltage direct current)는 고주파 전압의 중간점을 가리킵니다.

당사의 경우, 아래와 같은 대책을 추천하고 있습니다.
1. 그라운드 접지(접지)라고도 불리며, 누전에 의한 감전사고 방지를 위해 실시합니다만, 고주파의 노이즈 대책은 되지 않습니다.
2. 씰 디그 도체로 둘러싸고 면통전을 실시한다. 당사의 제품도 고주파를 차단하는 구조로 되어 있어 고주파 노이즈가 외부로 새지 않는 구조로 되어 있습니다.
3. 와이어링 회로간끼리의 배선 및 접속의 방법이 됩니다.
4. 필터링 위에서 해결할 수 없는 경우에는 로우 버스 필터를 제작하여 불필요한 주파수의 노이즈를 차단합니다.

통과 효율이 최적인 치수로 절연체를 폴리에틸렌으로 하면 임피던스는 약 50Ω이 되어
당시 미국에서 50Ω계를 표준화한 결과 통신계의 무선설비에서는 50Ω을 사용하는 것이
일반적이 되었습니다. (단, 텔레비전 안테나용 동축 케이블은 75Ω계)
측정 기기도 많이 50Ω으로 만들어져 있습니다.
위에서부터 당사의 고주파 전원도 50Ω으로 최대 효율이 되도록 설계하고 있습니다.

ICP:Inductively coupled plasma(유도 결합성 플라즈마)의 약어로,
상부 전극을 코일(안테나라고 하는 경우도 있다)로 제작한 것을 가리킵니다.

CCP: Capacitively coupled plasma (용량 결합 플라즈마)의 약자로 일컬어 평행 평판이라고도 합니다. 상부·하부 전극 사이에 고주파를 인가함으로써 플라즈가 생성하는 구조로 되어 있습니다.
당사의 정합기에서는, ICP는 코일 불필요, CCP는 코일이 내장된 것이 됩니다.

동시 여기, 위상 시프터의 목적은 파형 간의 간섭을 방지하는 것입니다.
그러나 개념은 반대입니다.

동시 여기 : 주파수를 정확히 같게 하여 가까운 주파수끼리의 간섭을 막는다. 그 때문에, 복수의 고주파 전원의 신호원을 1대의 고주파 전원의 수정 발진기로부터 취할 필요가 있습니다.

위상 시프터(페이즈 시프터): 동시 여기와는 반대로 파형의 주기를 어긋나 간섭을 방지하는 장치입니다. 위상을 0~360도 조정할 수 있습니다. 0도와 360도는 동시 여기 상태가 됩니다.

고주파 전원에 사용되는 동축 커넥터 및 동축 케이블은 임피던스 50Ω으로 만들어집니다.
커넥터와 케이블의 대략적인 사양을 명시합니다.

BNC형 커넥터???소신호 전력에 사용(50W 정도)
※상기에 맞는 케이블 3D-2V, RG-58A/U, RG-59/U

N형 커넥터???일반적인 고주파 커넥터(500W~1000W 정도)
※상기에 맞는 케이블 RG-8/U, RG-393

HN형 커넥터···N형 커넥터의 하이볼트 내압 커넥터(1kW~5kW 정도)
※상기에 맞는 케이블 RG-8/U, RG-14/U, RG-393

7/16형 커넥터???고전력 커넥터(5kW~7kW 정도)
※상기에 맞는 케이블 RG-14/U, RG-393

LC형 커넥터···고전력 커넥터(5kW~10kW 정도)
※상기에 맞는 케이블 RG-17/U

각, 동축 커넥터·변환 커넥터, 고내압 케이블 등도 상담해 주십시오.

10kHz 이상의 고주파 및 고주파 출력이 50W 이상의 제품에 관해서는
고주파 이용 설비에서 누설되는 전파가 다른 무선 통신에 방해를 줄 우려가 있으므로
설치 또는 변경하기 전에 허가를 받아야 하며 고주파 이용 장비 신청이 필요합니다.
또한 ISM 밴드라도 50W 이상의 제품은 신청이 필요합니다.

자세한 내용은 아래 URL을 참조하십시오.
https://www.soumu.go.jp/soutsu/chugoku/fieldinfo/01sotsu08_01000769.html